EB灭菌与UV灭菌的比较

当UV用于表面灭菌，例如薄膜灭菌时，如果处理速度很快，则可能无法获得足够的灭菌能力。 100kVEB辐照装置展示了其在这些领域的能力。

另外，与属于光（电磁波）的紫外线不同，电子束属于粒子束，因此具有被空气等物质散射的独特性质。利用这一特性，可以对以前用紫外线无法实现的复杂形状进行消毒（阴影效果）。
表8显示了紫外线灭菌和电子束灭菌之间的比较。