EB 设备组件名称及其角色

元件名称	角色
灯丝	热离子源
室	保持在高真空中并容纳枪部件的容器。
终端	储存灯丝并稳定腔室中的电场
网格	用于提取电子的网状电极板控制电子流并有效地将电子流引导至窗口。
窗户	将电子流提取到处理区。用窗箔保持室内真空
真空相关设备	保持室内的高真空度
自盾	将制动 X 射线包含在设备内并防止其泄漏到外部（X 射线防护）
高压电源（变压器）	确保 EB 加速电压和束流
控制面板	EB设备的操作、控制和维护

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