电子束灭菌

EB生成和器件结构

大多数 EB 设备加速热电子，但也有一些类型加速二次电子。在这里，我们将概述图 3 中的通用热电子型 EB 器件，并解释 EB 生成原理。

通过将电流通过放置在真空室中心的灯丝（钨），它被加热并发射热电子。发射的热电子首先被提取到栅极中。
这些热离子电子被端子和窗口（即阳极）之间80至300 kV的高压（加速电压）加速到接近光速，并成为电子电流，穿过薄箔（铝或金属箔）。钛）的窗户并飞向外面的世界。（这是EB）

当EB照射到物体上时，会产生轫致辐射X射线，该X射线被铅等屏蔽，并被限制在装置内，形成自屏蔽结构（自屏蔽），防止其泄漏到外部。
表3总结了说明中提到的各个部分的作用。