EB生成和器件结构
大多数 EB 设备加速热电子，但也有一些类型加速二次电子。在这里，我们将概述图 3 中的通用热电子型 EB 器件，并解释 EB 生成原理。
通过将电流通过放置在真空室中心的灯丝（钨），它被加热并发射热电子。发射的热电子首先被提取到栅极中。
这些热离子电子被端子和窗口（即阳极）之间80至300 kV的高压（加速电压）加速到接近光速，并成为电子电流，穿过薄箔（铝或金属箔）。钛）的窗户并飞向外面的世界。 （这是EB）
当EB照射到物体上时，会产生轫致辐射X射线，该X射线被铅等屏蔽，并使用自屏蔽结构（自屏蔽）限制在装置内，以防止其泄漏到外部。
表3总结了说明中提到的各个部分的作用。
图3 EB装置原理
表 3 EB 设备组件名称及其角色
| 元件名称 | 角色 |
|---|---|
| 灯丝 | 热离子源 |
| 室 | 保持在高真空中并容纳枪部件的容器。 |
| 终端 | 储存灯丝并稳定腔室中的电场 |
| 网格 | 用于提取电子的网状电极板控制电子流并有效地将电子流引导至窗口。 |
| 窗户 | 将电子流提取到处理区。用窗箔保持室内真空 |
| 真空相关设备 | 保持室内的高真空度 |
| 自盾 | 将制动 X 射线包含在设备内并防止其泄漏到外部（X 射线防护） |
| 高压电源（变压器） | 确保EB加速电压和束流 |
| 控制面板 | EB设备的操作、控制和维护 |