当放置在真空室中的灯丝被加热时，热电子从其表面发射。热电子首先被施加在栅极上的微弱电压所吸引，然后被施加在窗口上的高电压（加速电压）加速，增加其速度，最后穿过窗口的薄膜，飞向外界。电子束是这样的一束电子，灭菌利用的是该电子束（EB）的能量。
