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准分子紫外线照射装置
准分子紫外线照射装置
特征:
高能量(172nm)、
单波长、低温照射、可即时开关、
无汞环保。
用途:
玻璃和薄膜的清洗和改性
提高玻璃和薄膜粘合时的强度和附着力 晶圆
的清洗和改性、抗蚀剂剥离
规格:
我们将响应客户的要求,例如照射尺寸和灯的数量。
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