东京电子有限公司

 

概述

在半导体制造设备领域与美国应用材料公司、泛林集团、荷兰ASML等公司竞争。2022年，这家公司因索尼、丰田等八家大公司投资成立的Rapidus ，以及全球最大半导体制造商台湾台积电在熊本建设工厂而再次受到关注。原本该公司的大部分销售额都在海外，但随着日本半导体生产转向国产化，未来国内销售额有望增加。[四]

半导体制造设备是日本的强项领域之一，日本制造的机械被应用于世界各地。尤其是东京电子（TEL）开发的涂布机/显影机，全球市场占有率高达90%（EUV曝光接近100%）。由于是一家对全球半导体趋势具有重大影响力的公司，美国拜登政府正在强调日本、荷兰和美国之间半导体联盟的重要性。荷兰ASML和日本东京电子正被美国拜登政府强迫在针对中国的监管方面进行合作。[五]

该公司不仅以半导体闻名，而且以平板显示器闻名。它拥有喷墨印刷技术，这是下一代OLED量产方法。

在行业和股票市场上，常被称为TEL或East Elec。

主要产品

半导体制造设备

涂布机/显影机 - 在制造半导体时的光刻工艺中涂布和显影光敏剂的设备。

蚀刻设备

等离子蚀刻设备

气体化学蚀刻设备

薄膜成型设备

热处理成膜设备 -制造晶体管绝缘膜的制造设备。在半导体制造中，为了提高晶体管的性能，需要在短时间内进行高温热处理。

原子层沉积设备

化学气相沉积设备

物理气相沉积设备

单晶圆薄膜沉积设备

垂直扩散/LP-CVD/ALD设备

SiC外延薄膜沉积设备

清洁设备——在半导体制造过程中用于清洁污垢、灰尘和其他杂质的设备。

单片晶圆清洗设备

自动湿站

批量喷淋清洗设备

低温气溶胶单晶圆清洗设备

洗地机清洗设备

测验设备

晶圆探针台

多电池测试系统

晶圆键合/解键合设备

晶圆切边设备

气体团簇离子束装置

平板显示器制造设备

FPD蚀刻/灰化设备

历史

1963 年11 月- 东京放送株式会社（TBS，现TBS Holdings ）投资成立东京电子研究所株式会社。

1968 年2 月-与美国 Thermco Corporation 合资成立Tel Thermco Ltd.（后来的Tokyo Electron Tohoku Ltd. ）。

1976 年6 月- Tel Thermco 开发出世界上第一台高压氧化剂。

1978 年10 月- 公司名称从 Tokyo Electron Laboratories Ltd. 更改为现在的名称Tokyo Electron。

1980年6月- 在东京证券交易所第二部上市。

1984年3月- 晋升为东京证券交易所第一部。

1990年8月- 成立Tokyo Electron FE Co., Ltd.，全面进军液晶显示器（LCD）制造设备（FPD制造设备）。

1990 年 10 月 - Tokyo Electron Device开始运营。

1994年8月- 总公司迁至赤坂TBS放送中心。

1999 年10 月- 东京证券交易所第一部进行行业变更（从“商业”到“电气设备”）。

2000年8月- 每单位股份数量由1,000股变更为100股。

2003 年3 月- 东京电子器件在东京证券交易所第二部上市。

2006 年4 月- 将 Tokyo Electron AT Ltd. 拆分为三个公司（Tokyo Electron AT Ltd.、Tokyo Electron Tohoku Ltd. 和 Tokyo Electron TS Ltd.）。

2008年2月- 与夏普合资成立东京电子光伏有限公司。

2008年2月18日- 总公司搬迁至赤坂商务大厦

2012年5月-收购NEXX Systems （美国）并成立TEL NEXX, Inc.

2012 年 11 月 - 东京电子光伏有限公司解散。

2013 年9 月 24 日- 与全球最大的半导体制造设备制造商应用材料公司达成协议，将于 2014 年下半年合并业务。

2015年4月27日——宣布因“无法获得美国司法部批准”而放弃与应用材料公司的业务整合。[6]

2015 年10 月- 更改了 TEL 标记。

2018年10月- 出售2012年5月收购的美国子公司TEL NEXX, Inc.的全部股份[7]。

2019年7月10日- 宣布与美国 BRIDG 建立合作伙伴关系[8]。

 

集团公司

日本

Tokyo Electron Technology Solutions Ltd. - 前身为“Tokyo Electron AT”→“Tokyo Electron Yamanashi”。热处理成膜设备、单片成膜设备、气体化学蚀刻设备、测试系统、FPD等离子蚀刻/灰化设备的开发和制造。2016年与Tokyo Electron TS合并，2017年与 Tokyo Electron Tohoku合并。

保坂营业所（山梨县韭崎市）

东北办事处（岩手县奥州市）

府中事务所（东京都府中市）

名古屋卫星（爱知县名古屋市）

东京电子九州株式会社 - 半导体制造装置（涂布机、显影机、表面处理（清洗）装置）、FPD制造装置（FPD涂布机、显影机）的开发、制造

合志事务所（熊本县合志市）

大津事务所（熊本县菊池郡大津町）

Tokyo Electron Miyagi Ltd. - 等离子蚀刻设备的开发和制造

Tokyo Electron Devices Co., Ltd. - 工业电子产品的设计和开发、半导体电子器件和信息通信设备的销售和维护

Tokyo Electron FE Corporation - 设备安装和维护服务

Tokyo Electron BP Ltd. - 物流服务、设施管理、工资和福利、办公室支持

东京电子代理株式会社 - 保险代理店

美国

Tokyo Electron US Holdings, Inc. - 美国总部

Tokyo Electron America, Inc. - 美国的销售支持

TEL Technology Center, America, LLC. - 半导体制造设备的研发

TEL 风险投资公司

TEL Epion Inc. -使用气体团簇离子束( GCIB ) 技术开发和制造工业制造设备

TEL FSI, Inc. - 表面处理设备的开发、制造和销售

欧洲

Tokyo Electron Europe Limited - 泛欧总部（英国克劳利）

德国分公司

意大利分公司

荷兰分公司

爱尔兰分公司

法国分公司

TEL 太阳能服务公司

TEL Magnetic Solutions Limited - 磁场加工热设备的开发、制造和销售

东京电子以色列有限公司

亚洲

东京电子韩国有限公司

代表取缔役会长 堀井义明 代表取缔役社长 本彻

东京电子台湾有限公司

代表董事兼总经理 畑正明

东京电子(上海)有限公司

代表董事/总经理 陈杰

东京电子(上海)物流中心有限公司

代表董事/总经理 陈杰

东京电子（昆山）有限公司 - FPD制造设备的制造及零部件的维修

代表董事/总经理 陈杰

东京电子新加坡私人有限公司

代表人 伊藤秀树